Poleerimispadjad on peamised tarvikud, mis määravad keemilise mehaanilise poleerimise (CMP) protsessis vahvlite pinnakvaliteedi. Need koosnevad peamiselt materjalidest, nagu polüuretaanvaht, millel on poorne mikrostruktuur ja kõrge kulumiskindlus. Selle põhifunktsioonide hulka kuulub ühtlane rõhu ülekandmine, poleerimisvedeliku säilitamine ja reaktsioonijääkide eemaldamine. Kõvaduse reguleerimisega saab optimeerida vastavalt vahvli-vormi ühtlust (WID) ja kiibi ühtlust{4}}. Soonemustri kujundus mõjutab otseselt poleerimisvedeliku jaotumise efektiivsust. Radiaalne soon parandab materjali eemaldamise kiirust, samas kui rõngassoon optimeerib pinnaviimistlust.
Poleerimispadja jõudluse määravad 7 põhiindikaatorit:
1.Tihedus: mõjutab deformatsiooni astet
2.Hardness: reguleerige lihvimise efektiivsust
3.Thickness: määrab rõhu ühtluse
4.Soonte muster: optimeerige vedeliku jaotust
5. Groove parameetrid: laius/sügavus mõjutavad salvestusmahtu
6.Välisdiameetri spetsifikatsioonid: tuleb kohandada vastavalt seadme suurusele
Polüuretaanist poleerimispadja koostis ja struktuur
Polüuretaanpoleerimispatjade puhul kasutatakse põhimaterjalina tavaliselt suure jõudlusega{0}}polüuretaani. Polüuretaan on kõrge molekulmassiga polümeer, millel on hea elastsus, kulumiskindlus ja keemiline stabiilsus.
Selle struktuur sisaldab üldiselt poleerimiskihti ja tugikihti. Poleerimiskiht on poleeritud materjaliga otseses kontaktis ning tõhusa poleerimisefekti saavutamiseks peab sellel olema sobivad kõvaduse, kareduse ja poorsuse omadused; tugikiht täidab peamiselt poleerimiskihi toetamise ja fikseerimise rolli, aidates samal ajal edastada poleerimissurvet ja säilitada poleerimispadja üldist stabiilsust.
Polüuretaanist poleerimispatjade jõudlusnäitajad
Kõrge elastsus: see sobib paremini poleeritud objekti pinnale ja isegi keerukaid kõveraid pindu saab ühtlaselt poleerida, vähendades CMP-poleerimisprotsessi ajal liiga suurt või liiga väikest kohalikku survet, parandades seeläbi poleerimiskvaliteeti.
Kõrge kulumiskindlus:{0}}pikaajalise poleerimisprotsessi ajal võib see säilitada oma kuju ja jõudluse ning seda ei ole kerge kanda, mis pikendab poleerimispadja kasutusiga ja vähendab kasutuskulusid.
Kõrge tasasus: see suudab tagada poleeritud pinna tasasuse, mis on ülitäpse -optiliste komponentide, pooljuhtkiipide jms töötlemiseks hädavajalik, ning suudab täita rangeid pinna täpsuse nõudeid nendes väljades.
Kõrge stabiilsus: erinevates keskkonnatingimustes (näiteks temperatuuri ja niiskuse muutused jne) suudab polüuretaanist poleerimispadi siiski säilitada oma jõudluse stabiilsuse ja tagada poleerimisefekti järjepidevuse.